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半導(dǎo)體新材料制造產(chǎn)生的廢氣怎么處理好呢?

半導(dǎo)體新材料制造產(chǎn)生的廢氣怎么處理好呢?摘要

隨著科技的發(fā)展,目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應(yīng)用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開(kāi)發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)的國(guó)際性強(qiáng),而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過(guò)程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分,在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,

  隨著科技的發(fā)展,目前市場(chǎng)上新材料行業(yè)與傳統(tǒng)材料相比,其應(yīng)用范圍更廣了,新材料產(chǎn)業(yè)的研究與開(kāi)發(fā)投入高,產(chǎn)品的附加值高在生產(chǎn)與市場(chǎng)的國(guó)際性強(qiáng),而且新材料半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展前景好。而新材料半導(dǎo)體行業(yè)在加工的過(guò)程中采用清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑,這些溶劑中含有大量的有機(jī)物成分,在整個(gè)工藝加工的過(guò)程中將會(huì)有部分的有機(jī)溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放,這部分揮發(fā)的廢氣主要成分為具有揮發(fā)性的VOCs,下面講解一下關(guān)于:新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣應(yīng)該怎么處理。#催化燃燒廢氣處理設(shè)備#

  新材料半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣除了含有VOCs以外,還混有HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物,天清佳遠(yuǎn)采用的是RTO蓄熱式焚燒爐來(lái)處理半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣:工業(yè)廢氣中主要含有酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體四種,自身具有的溶解特性,半導(dǎo)體工業(yè)的氣體雖然排放量大,但是氣體的濃度低。

  RTO設(shè)備采用的是高溫破壞焚燒的廢氣治理技術(shù),升溫能源一般是電和天然氣,其高溫需高達(dá)700度或者以上,雖然溫度需高達(dá)700度左右,但是其實(shí)消耗的能源并不多,設(shè)備運(yùn)行期間部分的熱能是能夠回收重新利用的,降低能量消耗的同時(shí)提高了廢氣分子的燃燒反應(yīng)速率。

  天清佳遠(yuǎn)環(huán)境半導(dǎo)體材料廢氣處理設(shè)備的凈化效率可維持穩(wěn)定在99%以上。


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