1、沸石轉(zhuǎn)輪

　　沸石濃縮轉(zhuǎn)輪的主要成分為高硅鋁比沸石的吸附劑，可利用沸石特定孔徑對于半導(dǎo)體、汽車涂裝及光電業(yè)主要有機污染物(IPA、Acetone、PGME、PGMEA)具高吸、脫附效率的特性，使原本具高風(fēng)量、低濃度的VOC廢氣，經(jīng)沸石濃縮轉(zhuǎn)換成低風(fēng)量、高濃度的廢氣，降低后端終處理設(shè)備的成本。燃燒處理后的熱能將自動運用于蓄熱室預(yù)熱進入燃燒機的高濃度廢氣，以及用于提供脫附濃縮轉(zhuǎn)輪污染物所需的熱氣。

　　沸石轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)吸附VOC污染物所產(chǎn)生的壓降相當(dāng)?shù)?，可使風(fēng)機所需之電力減到最少。

　　由于處理濃縮后的風(fēng)量僅為進入系統(tǒng)風(fēng)量的5%到20%，因此可相對縮小焚化尺寸，以維持更低的燃料成本。濃縮倍率介于5倍到20倍之間時。廢氣VOC去除率能夠達到90-95%。一般項目要求VOC去除率為90%。

　　每個轉(zhuǎn)輪分為三個區(qū)：吸附區(qū)、脫附區(qū)、冷卻區(qū)。每個區(qū)輪流執(zhí)行各自的功能。在制作，安裝時候保證每個區(qū)的密封。

　　沸石轉(zhuǎn)輪

　　2、RTO蓄熱式氧化

　　RTO（Regenerative Thermal Oxidizer，蓄熱室氧化器）主要包括蓄熱室、氧化室、風(fēng)機等，它通過蓄熱室吸收廢氣氧化時的熱量，并用這些熱量來預(yù)熱新進入的廢氣，從而有效降低廢氣處理后的熱量排放，同時節(jié)約了廢氣氧化升溫時的熱量損耗，使廢氣在高溫氧化過程中保持著較高的熱效率（熱效率95%左右），其設(shè)備安全可靠、操作簡單、維護方便，運行費用低，VOCs去除率高。

　　RTO的工作原理是：有機廢氣首先經(jīng)過蓄熱室預(yù)熱，然后進入氧化室，加熱升溫到800℃左右，使廢氣中的VOCs氧化分解成CO2和H2O；氧化后的高熱氣體再通過另一個蓄熱室熱處理，然后煙氣排出RTO系統(tǒng)。這個過程不斷循環(huán)再生，每一個蓄熱室都是在輸入廢氣與排出處理過的氣體的模式間交替轉(zhuǎn)換。切換時間根據(jù)實際情況可以調(diào)整。