雖然很多半導(dǎo)體行業(yè)采用了活性炭吸附箱+催化燃燒技術(shù)路線，而且天清佳遠(yuǎn)也做了很多的案例。不過還是很多在問，哪種更好？

技術(shù)方面確實有差別，而成本方面也導(dǎo)致很多客戶采用了活性炭吸附箱+催化燃燒技術(shù)路線。實際上，天清佳遠(yuǎn)為越來越多的廠家業(yè)主推薦的是沸石轉(zhuǎn)輪+催化燃燒技術(shù)路線。

半導(dǎo)體工業(yè)中常用的有機(jī)溶劑和揮發(fā)性有機(jī)物，如光刻膠、溶劑蒸汽等，都可以通過沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)進(jìn)行處理。而光刻膠和溶劑蒸汽中的有機(jī)物濃度通常較高，活性炭在吸附一定量有機(jī)物后很快達(dá)到飽和狀態(tài)，導(dǎo)致吸附效果下降。

• 處理效率：

• 沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒：處理效率穩(wěn)定在99%以上。
• 活性炭吸附箱催化燃燒：處理效率80%-90%之間。

• 安全性：

• 沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒：安全風(fēng)險較低，催化燃燒過程穩(wěn)定可靠。
• 活性炭吸附箱催化燃燒：存在一定安全隱患，活性炭易發(fā)生自燃。

• 材料更換周期：

• 沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒：材料更換周期長，幾乎不需要額外的材料更換費用。
• 活性炭吸附箱催化燃燒：材料更換周期較短，需要定期更換活性炭，增加了運營成本。

• 成本：

• 沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒：操作維護(hù)成本較少。
• 活性炭吸附箱催化燃燒：活性炭更換和催化劑再生成本較高，運營成本較高。

天清佳遠(yuǎn)的客戶案例，經(jīng)過設(shè)備安裝并投入運行一段時間后，該廠廢氣排放濃度顯著降低，處理效率穩(wěn)定在99%以上。同時，沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)的安全性得到了驗證，催化燃燒過程穩(wěn)定可靠，幾乎沒有安全風(fēng)險。此外，由于沸石轉(zhuǎn)輪的吸附能力強(qiáng)，材料更換周期長，幾乎不需要額外的材料更換費用，降低了運營成本。

通過沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)的應(yīng)用，該半導(dǎo)體制造廠成功解決了廢氣處理難題，實現(xiàn)了廢氣排放的“清潔、高效、安全”。同時，也為其他同行業(yè)企業(yè)提供了一種可行的廢氣處理方案。